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三轴位移传感器 

超高精度三轴位移测量 

可同时测量 X、Y、Z 轴及倾斜（Tilt）方向，实现精准的位置分析。采用非接触式测量方式，在不损伤被测物的情况下获取准确的位移数据。凭借超高精度分辨率，可灵敏检测细微变化。针对半导体、电池等高精度工艺检测领域进行了优化。 

  • 三轴同步测量
  • 通过 Tilt 对 Z 轴（高度）数据进行补偿
  • 紧凑型尺寸（适用于机器人应用）
  • 支持信号接口（SI）
  • 远心镜头一体化设计
  • 支持定制化设计

主要应用领域

1

三轴同步测量 

无需光阑或标准件，仅通过反射光结构（Mirror、IRCF）即可轻松实现对被测物 X、Y、Z 三轴的同步测量。 
2

通过 Tilt 对 Z 轴（高度）
数据进行补偿 

提供自动补偿功能，可修正因倾斜（Tilt）引起的 Z 轴（高度）测量误差。 
3

紧凑型尺寸（机器人应用）

采用仅约为竞品 1/3 的紧凑型设计，
集成倾斜（Tilt）、位置及高度三种
测量功能，为综合检测提供支持。 
4

支持信号接口（SI） 

支持模块控制信息的同步，
并可根据客户需求，
提供电源及通信系统集成方案。 
5

远心镜头一体化设计 

采用海维视的远心镜头技术，
提高测量精度与稳定性。

6

定制化设计支持 

可根据客户需求，对测量范围、
重复精度及线性度进行定制化设计。

规格


Measurement
Item
HVS Target
Position
Range±700 um
Resolution0.25 um
Repeatability1 um
Linearity2 um
Sampling rate

1k or 0.1k Hz Support

Laser wavelength520 nm
Beam Diameter

Φ 11.0 mm

Beam DivergenceCollimate Beam
Height
Range± 525 um
Resolution0.01 um
Repeatability1 um
Linearity0.2 um
Sampling rate1k or 0.1k Hz support
Beam Spot Diameter0.02 mm
Laser Wavelength830 nm
Working distance4.5
Size
DimensionW357 x H116.5 x D95 mm
Weight7 kg
Area (WxD)0.034 m2

主要应用领域


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